Общероссийский Классификатор Стандартов

23 Гидравлические и пневматические системы и компоненты общего назначения;

23.160 - Вакуумная технология

Включая вакуумные насосы

ГОСТы

Код	Наименование
13373-67	Механизмы исполнительные пневматические мембранные ГСП. Основные параметры и размеры Настоящий стандарт распространяется на пневматические мембранные пружинные исполнительные механизмы Государственной системы промышленных приборов и средств автоматизации, изготавливаемые по ГОСТ 9887—70
14715-88	Арматура вакуумная. Типы. Основные параметры Настоящий стандарт распространяется на сверхвысоковакуумные угловые клапаны и прямоходные затворы климатического исполнения УХЛ 4 и О4 по ГОСТ 15150, работающие в диапазоне давлений до 1х10 в ст. минус 7 Па и имеющие уплотнители, выполненные из термостойкой резины и допускающие прогрев до температуры не ниже 150 град. С
18626-73	Проходы условные элементов вакуумных систем. Основные размеры Настоящий стандарт распространяется на элементы вакуумных систем и устанавливает ряд номинальных размеров условных проходов
2.796-81	Единая система конструкторской документации. Обозначения условные графические в схемах. Элементы вакуумных систем Настоящий стандарт устанавливает условные графические обозначения элементов вакуумных систем в схемах всех отраслей промышленности, выполняемых вручную или автоматизированным способом. Стандарт полностью соответствует СТ СЭВ 2181-80.
2.796-95	Единая система конструкторской документации. Обозначения условные графические в схемах. Элементы вакуумных систем Настоящий стандарт устанавливает условные графические обозначения элементов вакуумных систем всех отраслей промышленности
2.797-81	Единая система конструкторской документации. Правила выполнения вакуумных схем Настоящий стандарт устанавливает правила выполнения вакуумных схем вакуумных систем всех отраслей промышленности
24206-80	Приборы и устройства пневматические для математических операций ГСП. Общие технические условия Настоящий стандарт распространяется на пневматические приборы и устройства Государственной системы промышленных приборов и средств автоматизации (ГСП), предназначенные для выполнения математических операций с унифицированными аналоговыми пневматическими сигналами
24934-81	Оборудование вакуумное. Фланцы неподвижные винтовые. Основные и присоединительные размеры Настоящий стандарт распространяется на неподвижные винтовые фланцы, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие в диапазоне давлений от 10 в ст 5 до 10 в ст. минус 5 Па, и устанавливает основные и присоединительные размеры неподвижных винтовых фланцев с условными проходами от 10 до 1000 мм ряда R5 по ГОСТ 8032
24935-81	Оборудование вакуумное. Фланцы поворотные винтовые. Основные и присоединительные размеры Настоящий стандарт распространяется на поворные винтовые фланцы, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, и устанавливает основные и присоединительные размеры опорных и накидных фланцев, распорных и центрирующих колец для условных проходов от 10 до 630 мм ряда R5
25196-82	Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,666 57х10 в ст. минус 27 до 217,534 67х10 в ст. минус 27 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6х10 в ст. минус 15 до 1,6х10 в ст. минус 13 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники
25197-82	Оборудование вакуумное. Клапаны прямые и угловые вакуумные. Установочные размеры Настоящий стандарт распространяется на прямые и угловые клапаны с фланцевыми соединениями, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие в диапазоне давлений от 10 в ст. 5 до 10 в ст. минус 5 Па, и устанавливает присоединительные и установочные размеры для клапанов с условными проходами от 10 до 400 мм ряда R5
25198-82	Оборудование вакуумное. Соединения вакуумных трубопроводов. Установочные размеры Настоящий стандарт распространяется на соединения вакуумных трубопроводов (колена, тройники, крестовины), применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие в диапазоне давлений от 10 в ст. 5 до 10 в ст. минус 5 Па, и устанавливает присоединительные и установочные размеры соединений вакуумных трубопроводов с условными проходами от 10 до 650 мм ряда R5
25662-83	Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные диффузионные. Методы испытаний Настоящий стандарт распространяется на диффузионные вакуумные насосы с водяным охлаждением, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, предназначенные для откачивания из герметичных объемов воздуха, газов и парогазовых смесей, предварительно очищенных от капельной влаги и механических загрязнений и неагрессивных к материалам конструкций
25663-83	Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний Настоящий стандарт распространяется на механические вакуумные насосы объемного действия, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие при выпускном давлении, равном атмосферному, и создающие на входе давление менее 1000 Па, и устанавливает методы измерения предельного остаточного давления и быстроты действия
26099-84	Насосы вакуумные поршневые. Типы и основные параметры Настоящий стандарт распространяется на вакуумные поршневые насосы с водяным охлаждением, предназначенные для откачки воздуха охлаждением, предназначенные для откачки воздуха и неагрессивных газов, предварительно очищенных от капельной влаги и механических примесей
27895-2013	Вакуумная технология. Клапаны. Испытания на герметичность
5.1150-71	Насосы высоковакуумные диффузионные типа НВД. Требования к качеству аттестованной продукции Настоящий стандарт распространяется на высоковакуумные диффузионные насосы типа НВД с быстротой откачки 0,15 и 0,25 куб.м/с (150 и 250 л/с). Насосы предназначены для откачки воздуха, неагрессивных газов, паров и паро-газовых смесей, предварительно очищенных от капельной влаги и механических загрязнений во взрывобезопасном помещении при температуре окружающего воздуха от 10 до 30 гра.С, относительной влажности 65 плюс минус 15% и атмосферном давлении 750 плюс минус 30 мм рт.ст
5.1807-73	Насос геттерно-ионный типа ГИН-0,5-1М. Требования к качеству аттестованной продукции Настоящий стандарт распространяется на геттерно-ионный насос типа ГИН-0,5-1М, предназначенный для получения высокого и сверхвысокого вакуума откачкой воздуха и других неагрессивных газов, не воздействующих на материалы конструкции насоса, и для безмасляной откачки электровакуумных приборов
5197-85	Вакуумная техника. Термины и определения Настоящий стандарт устанавливает термины и определения понятий в области вакуумной техники
52615-2006	Компрессоры и вакуумные насосы. Требования безопасности. Часть 2. Вакуумные насосы Настоящий стандарт распространяется на все типы вакуумных насосов, комбинаций вакуумных насосов и вакуумные системы и устанавливает основные виды опасностей, исходящие от вакуумных насосов. Стандарт устанавливает требования безопасности, предъявляемые к насосам, их транспортированию и хранению, установке, эксплуатации, техническому обслуживанию и демонтажу во время предполагаемого срока эксплуатации и последующей утилизации. Настоящий стандарт не распространяется на насосы для непрерывного откачивания в открытых системах, в которых давление на входе насоса не падает ниже 75 кПа (например в пылесосах, вентиляторах). Требования, для отдельных типов насосов могут быть дополнены в соответствии с требованиями нормативных документов на насос конкретного типа
52715-2007	Оборудование вакуумное. Соединительные части трубопровода. Установочные размеры Настоящий стандарт распространяется на соединения вакуумных трубопроводов (колена, тройники, крестовины) и устанавливает установочные размеры для соединительных частей вакуумных трубопроводов с условными проходами от 10 до 630 мм ряда R5
52856-2007	Оборудование вакуумное. Размеры фланцев Настоящий стандарт распространяется на неподвижные, опорные и накидные фланцы, а также на установочные и центрирующие кольца, обеспечивающие герметичность вакуумных соединений, и устанавливает их основные и присоединительные размеры. Указанные размеры обеспечивают взаимозаменяемость неподвижных, опорных и накидных фланцев
52912-2008	Диаметры номинальные элементов вакуумных систем. Ряды Настоящий стандарт распространяется на элементы вакуумных систем и устанавливает ряд значений номинальных диаметров, а также их обозначения
53177-2008	Вакуумная техника. Определение характеристик масс-спектрометрического метода контроля герметичности Настоящий стандарт распространяется на масс-спектрометрический метод контроля герметичности вакуумных систем всеми способами, указанными в ГОСТ 28517, при которых происходит натекание пробного вещества в предварительно откачанный объект, и устанавливает процедуры определения характеристик контроля
53334-2009	Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные пароструйные. Измерение рабочих характеристик. Часть 1. Измерение быстроты действия (скорости откачки) Настоящий стандарт распространяется на пароструйные выкуумные насосы и устанавливает метод измерения быстроты действия этих насосов. Рассматриваемые насосы, включают в себя три класса: - диффузионные насосы; - эжекторные насосы; - бустерные насосы (т.е. насосы, способные работать как в молекулярном, так и в ламинарном режимах потока, сочетая свойства диффузионного и эжекторного насосов). Перечисленные насосы могут работать с ловушкой (ами) или без нее (них)
53335-2009	Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные объемного действия. Измерение рабочих характеристик. Часть 1. Измерение быстроты действия (скорости откачки) Настоящий стандарт распространяется на механические вакуумные насосы объемного действия, работающие при выпускном давлении, равном атмосферному, и создающие на входе давление менее 1000 Па, и устанавливает метод измерения быстроты действия. Данные типы насосов могут работать с ловушкой(ами) или без нее(них)
54107-2010	Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные объемного действия. Измерение рабочих характеристик. Часть 2. Измерение предельного остаточного давления
54108-2010	Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные пароструйные. Измерение рабочих характеристик. Часть 2. Измерение предельного остаточного и наибольшего выпускного давлений
54807-2011	Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов
9803-1-2013	Вакуумная технология. Установочные размеры соединений трубопровода. Часть 1. С фланцами без ножевидной кромки
9803-2-2013	Вакуумная технология. Установочные размеры соединений трубопровода. Часть 2. С фланцами с ножевидной кромкой
9887-70	Механизмы исполнительные пневматические мембранные ГСП. Общие технические условия Настоящий стандарт распространяется на пневматические мембранные пружинные исполнительные механизмы Государственной системы промышленных приборов и средств автоматизации, предназначенные для управления регулирующими и запорными органами исполнительных устройств в системах управления производственными процессами и для управления регулирующей арматурой
9986-78	ГСП. Преобразователи электропневматические аналоговые. Общие технические условия Настоящий стандарт распространяется на электропневматические аналоговые преобразователи, входящие в комплекс государственной системы промышленных приборов и средств автоматизации (ГСП), эквивалентно преобразующие электрические аналоговые токовые сигналы и сигналы напряжения постоянного тока в аналоговый пневматический сигнал. Преобразователи предназначены для связи электрических аналоговых приборов и устройств ГСП и электрических машин с пневматическими приборами и устройствами ГСП
9988-84	Устройства регулирующие пневматические ГСП. Общие технические условия Настоящий стандарт распространяется на пневматические (с унифицированным пневматическим выходным сигналом) регулирующие устройства Государственной системы промышленных приборов и средств автоматизации (ГСП), предназначенные для использования в системах автоматического контроля, регулирования и управления параметрами промышленных технологических процессов (регуляторы, выполненные в виде самостоятельных устройств), а также для встраивания в приборы ГСП и не используемые как самостоятельные устройства

Статистика:

Стандартов: 30976
из них:
действующих: 25918

НПБ: 137

СНиПов: в разработке

Обновление:

17.03.2014
Обновлены ГОСТы 02.2014 включительно

Каталог ГОСТов

gostbase.ru

Общероссийский Классификатор Стандартов

23.160 - Вакуумная технология

ГОСТы

Статистика:

Обновление: